شبيه سازي تنش هاي پسماند در پوشش هاي لايه نازك TiN و CrN با استفاده از روش اجزاي محدود

-
شبيه سازي تنش هاي پسماند در پوشش هاي لايه نازك TiN و CrN با استفاده از روش اجزاي محدود
اولين كنفرانس ملي نوآوري ها در پردازش لايه هاي نازك و مشخصه هاي آنها
-

doi
نوع مقاله
Conference
https://people.iut.ac.ir/fa/shafyei/content/1653515