شبيه سازي تنش هاي پسماند در پوشش هاي لايه نازك TiN و CrN با استفاده از روش اجزاي محدود

-
شبيه سازي تنش هاي پسماند در پوشش هاي لايه نازك TiN و CrN با استفاده از روش اجزاي محدود
اولين كنفرانس ملي نوآوري ها در پردازش لايه هاي نازك و مشخصه هاي آنها
-

doi
Date : 1390-10
نوع مقاله
Conference