بررسي تا ثير پارامترهاي پوشش دهي رسوب فيزيكي بخار روي زبري نهايي پوشش لايه نازك TiN با استفاده از شبكه عصبي

Date : 1390-10-08
doi
نوع مقاله
Conference
عنوان کنفرانس
اولين كنفرانس ملي نوآوري ها در پردازش لايه هاي نازك و مشخصه هاي آنها