بهينه سازي پارامترهاي ليزر فرابنفش در ميكروليتوگرافي ليزري براي كمينه سازي اندازه پرتو ليزر روي فتورزيست شيپلي
Optimization of ultraviolet laser parameters in laser microlithography to minimize the laser beam size on the Shipley photoresist
عنوان کنفرانس
22th National and 11th International Conference of Manufacturing Engineering
بيست و دومين همايش ملي و يازدهمين كنفرانس بين المللي مهندسي ساخت و توليد ايران
بيست و دومين همايش ملي و يازدهمين كنفرانس بين المللي مهندسي ساخت و توليد ايران
doi
نوع مقاله
Conference
Co-writers
حانيه سادات حسيني كوهانستاني, علي مالكي, علي سهيلي اصفهاني
