شبيه سازي تنش هاي پسماند در پوشش هاي لايه نازك TiN و CrN با استفاده از روش اجزاي محدود

Date : 1390-10-08
doi
نوع مقاله
Conference
عنوان کنفرانس
اولين كنفرانس ملي نوآوري ها در پردازش لايه هاي نازك و مشخصه هاي آنها